[发明专利]电子束记录装置及电子束记录方法

权利要求书

1.一种电子束记录装置，是具有：

发射电子束的电子射线源；

根据规定的信息信号生成电压的电压控制部；

根据电压控制部生成的上述电压使上述电子束偏转的控制电极；

遮蔽上述电子束的遮蔽板；

载置抗蚀剂原盘并使该抗蚀剂原盘旋转的回转台，

使上述电子束通过经遮蔽板的通过位置，在遮蔽板的遮蔽位置使上述电子束遮蔽，在上述抗蚀剂原盘上记录所希望的图案的电子束记录装置；其特征在于：

电压控制部控制外加到上述控制电极上的上述电压，使上述电子束从第1遮蔽位置移动到上述通过位置的第1速度和从上述通过位置移动到第2遮蔽位置的第2速度几乎相等。

2.根据权利要求1所述的电子束记录装置，其特征在于：

电压控制部从回转台接受涉及上述抗蚀剂原盘的旋转速度的信息，取得上述抗蚀剂原盘的线速度，使上述线速度与上述第1速度的第1相对速度和上述线速度与上述第2速度的第2相对速度几乎相等。

3.根据权利要求1所述的电子束记录装置，其特征在于：

上述第1速度和上述第2速度是相同方向。

4.根据权利要求3所述的电子束记录装置，其特征在于：

上述控制电极可以由使上述电子束沿第1方向偏转的第1电极和使上述电子束沿与上述第1方向不同的第2方向偏转的第1电极组成；

电压控制部控制外加到上述第1电极及上述第2电极上的各电压，使上述电子束偏转并经遮蔽板上的位置从第2遮蔽位置移动到上述第1遮蔽位置。

5.根据权利要求3所述的电子束记录装置，其特征在于：

上述第1速度和上述第2速度与上述抗蚀剂原盘的旋转方向是相同方向。

6.根据权利要求1所述的电子束记录装置，其特征在于：

遮蔽板具有规定上述第1遮蔽位置的第1遮蔽部；规定上述第2遮蔽位置的第2遮蔽部；而且，在该第1遮蔽部和该第2遮蔽部之间，有作为上述通过位置的切口。

7.根据权利要求6所述的电子束记录装置，其特征在于：

遮蔽板进一步具有连接上述第1遮蔽部和上述第2遮蔽部的第3遮蔽部，使上述电子束偏转并经上述第3遮蔽部从上述第2遮蔽位置移动到上述第1遮蔽位置。

8.根据权利要求6所述的电子束记录装置，其特征在于：

遮蔽板的上述切口的宽度和上述电子束的直径几乎相等。

9.一种电子射束记录装置，是具有：

根据规定的信息信号生成电压的电压控制部；

根据电压控制部生成的上述电压、使上述电子束偏转的控制电极；

配置在上述控制电极和抗蚀剂原盘旋转之间、并遮蔽上述电子束的遮蔽板；

载置上述抗蚀剂原盘并使该抗蚀剂原盘旋转的回转台；并使上述电子束通过遮蔽板的通过位置而通过、在遮蔽板的遮蔽位置中进行遮蔽、在上述抗蚀剂原盘上记录所希望的图案的电子束记录装置；其特征在于：

遮蔽板具有规定上述遮蔽板位置的第1遮蔽部及第2遮蔽部，而且在该第1遮蔽部和该第2遮蔽部之间具有作为上述通过位置的切口，

控制电极，根据电压控制部生成的上述电压，在遮蔽板的上述第1遮蔽部、上述第2遮蔽部以及上述切口上，把上述电子束向任意方向偏向。

10.一种电子射束记录方法，

利用具有：发射电子束的电子射线源；

根据规定的信息信号生成电压的电压控制部；

根据电压控制部生成的上述电压，使上述电子束偏转的控制电极；

遮蔽上述电子束的遮蔽板；

载置上述抗蚀剂原盘并使该抗蚀剂原盘旋转的回转台的电子束记录装置；其特征在于：

包括：使上述电子束偏转并使上述电子束以第1速度从第1遮蔽位置移动到上述通过位置的步骤；

使上述电子束经上述通过位置照射到上述抗蚀剂原盘的步骤；

使上述电子束偏转并使上述电子束以与上述第1速度几乎相等的第2速度从上述通过位置移动到第2遮蔽位置的步骤。