[发明专利]磁复制用主载体

权利要求书

1、一种磁复制用主载体，在形成于基板上的图形上具有软磁性层，其特征在于，所述基板与软磁性层的附着力为1×10⁹N/m²以上，同时，所述基板的软磁性层侧表面的氧元素浓度Do随着距离表面的距离增大而变少，相对于图形形成深度部位的氧元素浓度Dh，为Do＞Dh的关系。

2、按照权利要求1所述的磁复制用主载体，其特征在于，所述基板的软磁性层侧表面进行了氧化处理。

3、按照权利要求1所述的磁复制用主载体，其特征在于，所述基板的软磁性层侧表面的氧元素浓度Do与所述图形形成深度部位的氧元素浓度Dh之比，Dh/Do在0.05以上0.8以下的范围内。

4、按照权利要求1所述的磁复制用主载体，其特征在于，从所述基板的软磁性层侧表面到所述图形形成深度部位的沿深度方向的平均氧元素浓度为15at％以下。

5、按照权利要求1所述的磁复制用主载体，其特征在于，所述基板与所述软磁性层之间设有陶瓷层。

6、按照权利要求5所述的磁复制用主载体，其特征在于，所述基板的软磁性层侧表面进行了氧化处理。

7、按照权利要求5所述的磁复制用主载体，其特征在于，所述基板的软磁性层侧表面的氧元素浓度Do与所述图形形成深度部位的氧元素浓度Dh之比，Dh/Do在0.05以上0.8以下的范围内。

8、按照权利要求5所述的磁复制用主载体，其特征在于，从所述基板的软磁性层侧表面到所述图形形成深度部位的沿深度方向的平均氧元素浓度为15at％以下。

9、一种磁复制用主载体，在基板上设有由至少表面有磁性层的多个凸部构成的图形，其特征在于，所述磁性层至少表面具有氧化、氮化和/或碳化的部分。

10、按照权利要求9所述的磁复制用主载体，其特征在于，所述磁性层遍布整个区域具有氮化、氧化和/或碳化的部分。

11、按照权利要求10所述的磁复制用主载体，其特征在于，所述磁性层的表面侧的氧化、氮化和/或碳化量比所述磁性层的所述基板侧的氧化、氮化和/或碳化量大。

12、按照权利要求11所述的磁复制用主载体，其特征在于，所述磁性层的表面侧的氧化、氮化和/或碳化量比所述磁性层全部的氧化、氮化和/或碳化量的平均值大。

13、按照权利要求9所述的磁复制用主载体，其特征在于，所述氧化、氮化和/或碳化部分的氧元素、氮元素和/或碳元素的总量相对于所述磁性层的所有元素量为0.5at％以上，40at％以下。

14、按照权利要求13所述的磁复制用主载体，其特征在于，所述氧化、氮化和/或碳化部分的氧元素、氮元素和/或碳元素的总量相对于所述磁性层的所有元素量为1at％以上，30at％以下。