[发明专利]积层压电器件及其制法和压电致动器

权利要求书

1.一种积层压电器件，它包括：

分层压电体，这种压电体包含驱动部分和连接部分，所述驱动部分中通过被置于其间的压电层被互相交替地叠置多个第一驱动内电极和第二驱动内电极，所述连接部分中通过被置于其间的压电层沿一叠层方向互相叠置多个连接内电极；至少一个驱动侧外电极和连接侧外电极分别处于与第一驱动内电极和各连接内电极电导通，它们基本上互相平行地排布在所述分层压电体的两个相对表面之一处；并且至少一个公用侧外电极处于与各第二驱动内电极和各连接内电极电导通，它被安置在所述分层的压电体的另一侧表面处；

其中，由狭缝确定多个可分开驱动的致动单元，所述狭缝分开驱动部分的第一和第二驱动内电极，并且所述狭缝沿着叠层方向从驱动部分的上表面延伸至其下表面；在所述分层压电体的一个侧面内形成切口部分，驱动侧外电极和连接侧外电极基本上平行地布置在所述分层压电体内，使所述切口部分基本上与各驱动内电极和连接内电极平行；所述切口部分的深度使该切口部分能够从所述分层压电体的下表面延伸至所述狭缝底端上方的位置，但不能使该切口部分达到各驱动内电极。

2.如权利要求1所述的积层压电器件，其特征在于，所述驱动侧外电极和连接侧外电极被布置成覆盖住分层压电体的相对侧面之一的除所述切口部分之外的整个部分。

3.如权利要求1所述的积层压电器件，其特征在于，所述各第一驱动内电极的端部只从所述分层压电体的两个相对侧面之一露出。

4.如权利要求1所述的积层压电器件，其特征在于，所述各第二驱动内电极的端部只从所述分层压电体的两个相对侧面之一露出。

5.如权利要求1所述的积层压电器件，其特征在于，所述每个连接内电极的端部从所述分层压电体的两个相对侧面露出。

6.一种装置，它包括：

多个权利要求1所述的积层压电器件；

支撑基板；

粘接剂，将所述积层压电器件固定到所述基板上，其中，所述粘接剂至少部分地布置在所述切口部分内。

7.一种制作权利要求1所述积层压电器件的方法，该方法包括如下步骤：

提供母板，该板中依次平行地包含多个分层压电体，它们通过分隔过程而被分开，并且基本上互相平行地依次排布；

在所述母板的相应区域内形成多个切槽，这些槽成为多个与分层压电体相应的切口部分，其中所述相应区域成为由所述母板形成的各分层压电体；

通过分隔所述母板，分开各分层压电体；

在以相对于蒸镀源或溅射源为倾斜的状态支撑被分隔的各分层压电体之后，通过蒸镀或溅射，形成所述驱动侧外电极和连接侧外电极。

8.一种制作权利要求1所述积层压电器件的方法，该方法包括如下步骤：

沿叠层方向互相放置多个分层压电体，这些压电体已经通过分隔所述母板而被分隔开，所述母板中包含基本上互相平行地依次排布的多个分层压电体；

在每个分层压电体上形成所述驱动侧外电极和连接侧外电极；

在已被互相放置的相应分层压电体中形成多个内切槽，这些内切槽成为与各分层压电体对应的切口部分。

9.一种制作权利要求1所述积层压电器件的方法，该方法包括如下步骤：

沿叠层方向互相放置多个分层压电体，这些压电体已经通过分隔所述母板而被分隔开，所述母板中包含基本上互相平行地依次排布的多个分层压电体；

在已经被互相放置的相应各分层压电体中形成内切槽，这些内切槽成为各对应的分层压电体的切口部分；

在以相对于蒸镀源或溅射源处于倾斜的状态支撑各分层压电体之后，通过蒸镀或溅射，形成所述驱动侧外电极和连接侧外电极。

10.一种压电致动器，它包括：

权利要求1的积层压电器件；

多个可分开驱动的致动单元，它们是由狭缝被确定的，所述狭缝分隔所述驱动部分中的第一驱动内电极和各第二驱动内电极；

其中，所述压电器件的驱动部分被所述狭缝分隔，所述狭缝沿着叠层方向从该驱动部分的上表面延伸至其下表面。