[发明专利]照明系统,投影曝光设备和器件制造方法

权利要求书

1.一种照明系统，用于利用光源的光照明待照明的表面，其特征在于包括：

第一反射型积分器；

第一聚光反射镜系统，用于在待照明的表面上互相叠加所述第一反射型积分器的光束；

第二反射型积分器，放置在光源与所述第一反射型积分器之间；和

第二聚光反射镜系统，用于在所述第一反射型积分器上互相叠加所述第二反射型积分器的光束。

2.按照权利要求1的照明系统，其中所述第一反射型积分器有多个分段确定的反射面，每一分段是部分的圆柱面，多个分段基本上是互相平行放置的，因此，待照明表面上的照明区域是弧形。

3.按照权利要求1的照明系统，其中所述第二反射型积分器有多个分段确定的反射面，每一分段是部分的圆柱面，多个分段基本上是互相平行放置的，且其中所述第一反射型积分器和第二反射型积分器中圆柱面的母线基本上是互相垂直的。

4.按照权利要求2的照明系统，其中所述第二反射型积分器有多个分段确定的反射面，每一分段是部分的球面，这些分段布置成二维形式。

5.按照权利要求2的照明系统，其中圆柱面具有凸面形，凹面形，及凸面形和凹面形的组合之一。

6.按照权利要求1的照明系统，其中所述照明系统有这样的结构，相对于子午截面，待照明表面的照明是临界照明，而相对于径向截面，待照明表面的照明是柯勒照明。

7.按照权利要求1的照明系统，其特征是，(i)放置在所述第一聚光反射镜系统与待照明表面之间的光阑，它的孔径确定待照明表面上的照明区域，和(ii)反射光学系统，利用穿过所述孔径的光，把所述光阑的所述孔径成像到待照明的表面。

8.按照权利要求7的照明系统，其特征是调整单元，用于偏心地和/或旋转地至少移动所述反射光学系统中一个反射镜，从而调整光照射到待照明表面的入射角。

9.按照权利要求1的照明系统，其特征是有孔径的光阑，用于确定待照明表面上的照明区域。

10.按照权利要求1的照明系统，其特征是调整单元，用于偏心地和/或旋转地至少移动所述第一聚光反射镜系统中一个反射镜，从而调整光照射到待照明表面上的入射角。

11.一种用于照明待照明表面的照明系统，其特征在于包括：

反射镜系统，用于引导光源的光到待照明的表面；和

调整单元，用于偏心地和/或旋转地至少移动所述反射镜系统中一个反射镜，从而调整光照射到待照明表面上的入射角。

12.一种利用光源的光照明待照明表面的照明系统，其特征是：

第一反射型积分器；

第一光学系统，用于投影光源的光到所述第一反射型积分器；和

第二光学系统，用于在待照明的表面上互相叠加所述第一反射型积分器的光束；

其中所述第一光学系统包括：改变单元，用于改变光照射到所述第一反射型积分器上的直径和/或形状。

13.按照权利要求12的照明系统，其中所述改变单元包括：有孔径形状和/或尺寸各不相同的多个光阑；和驱动系统，用于有选择地放置一个所述光阑到所述第一反射型积分器的反射面或其附近。

14.按照权利要求12的照明系统，其中每个孔径的形状是在沿光入射到所述第一反射型积分器的入射平面方向上伸展。

15.按照权利要求12的照明系统，其中所述改变单元包括：(i)第二反射型积分器，聚光反射镜系统，用于在所述第一反射型积分器上互相叠加所述第二反射型积分器的光束；和(ii)有可变孔径直径的光阑，它放置在所述第二反射型积分器的反射面或其附近。

16.按照权利要求12的照明系统，其中所述改变单元包括：(i)多个第二反射型积分器，其发射光的发射角各不相同；(ii)聚光反射镜系统，用于在所述第一反射型积分器上互相叠加所述第二反射型积分器的光束；和(iii)驱动系统，用于有选择地放置一个所述第二反射型积分器到光源的光程上。

17.按照权利要求16的照明系统，其特征是，有可变孔径的光阑，它放置在所述第二反射型积分器的反射面或其附近。