[发明专利]电容式传声器及其制造方法

权利要求书

1.一种电容式传声器，包括：

具有导电轻金属形成的接地电极层的导电振动膜；

通过空气层对立于导电振动膜布置的导体固定电极；

有机化合物形成的有机介电层，其设置在空气层和导电振动膜之间的边界面一侧；以及

由离子或电子构成的永久电荷层，该永久电荷层形成在有机介电层内自有机介电层厚度方向的中间位置的接地电极层一侧。

2.如权利要求1所述的电容式传声器，其中，有机介电层的从永久电荷层到与空气层接触的内端面的内侧形成为驻极体，并具有电势。

3.如权利要求1所述的电容式传声器，其中，有机介电层厚度为1～50μm，且接地电极层通过在有机介电层上涂覆厚度不大于0.1μm的导电轻金属薄膜而形成。

4.一种电容式传声器，包括：

具有导电轻金属形成的接地电极层的导电振动膜；

通过空气层对立于导电振动膜布置的导体固定电极；

无机氧化物或有机化合物形成的无机或有机介电层，其设置在导体固定电极的朝向空气层的边界面一侧；以及

由离子或电子构成的永久电荷层，该永久电荷层形成在无机或有机介电层内自无机或有机介电层厚度方向的中间的导体固定电极一侧。

5.如权利要求4所述的电容式传声器，其中，从永久电荷层到与空气层接触的内端面的无机或有机介电层的内侧形成为驻极体，并具有电势。

6.如权利要求4所述的电容式传声器，其中，有机化合物形成的厚度不大于4μm的介电层被用于导电振动膜，且在有机介电层上，通过将导电轻金属薄膜形成为不大于0.1μm的厚度而制备接地电极层。

7.如权利要求4所述的电容式传声器，其中，不小于1μm厚的二氧化硅被用于无机或有机介电层。

8.如权利要求1到7中任一项所述的电容式传声器，其中，有机介电层通过利用氟化乙烯丙烯、聚氟缩醛和聚四氟乙烯中任一种而形成。

9.如权利要求1到7中任一项所述的电容式传声器，其中，在容纳导电振动膜和导体固定电极的壳体的外表面上形成内径不小于1.0mm的圆孔。

10.一种制造电容式传声器的方法，该电容式传声器具有：具有导电轻金属形成的接地电极层的导电振动膜；通过空气层对立于导电振动膜布置的导体固定电极；有机化合物形成的有机介电层，其设置在空气层和导电振动膜之间的边界面一侧；以及由离子或电子构成的永久电荷层，该永久电荷层形成在有机介电层内从空气层侧自有机介电层厚度方向的中间位置向后延伸的内部中，该电容式传声器的制造方法包括以下步骤：在电容式传声器组装后，将被加速的离子化物体或电子从导电振动膜的外侧注入到有机介电层中，从而形成永久电荷层。

11.一种制造电容式传声器的方法，该电容式传声器具有：具有导电轻金属形成的接地电极层的导电振动膜；通过空气层对立于该振动膜布置的导体固定电极；无机氧化物或有机化合物形成的无机或有机介电层，其设置在导体固定电极的朝向空气层的边界面一侧；以及由离子或电子构成的永久电荷层，该永久电荷层形成在无机或有机介电层内从空气层侧自无机或有机介电层厚度方向的中间向后延伸的内部中，该电容式传声器的制造方法包括以下步骤：在电容式传声器组装后，将被加速的离子化物体或电子从导电振动膜的外侧注入到无机或有机介电层中，从而形成永久电荷层。