[发明专利]形成贵金属薄膜构图的方法无效
| 申请号： | 02127334.0 | 申请日： | 2002-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN1405797A | 公开（公告）日： | 2003-03-26 |
| 发明（设计）人： | 夏目洁;内藤宽 | 申请（专利权）人： | 雅马哈株式会社 |
| 主分类号： | H01C7/00 | 分类号： | H01C7/00;G01K7/18;H01L21/3205 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李晓舒,魏晓刚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 形成 贵金属 薄膜 构图 方法 | ||
【权利要求书】：
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