[发明专利]压电器件和具有此压电器件的墨盒

权利要求书

1.一种压电器件，包括：

具有设置成彼此相对的第一表面和第二表面的基体，所述基体包括用于容纳将被检测的介质的空腔，所述空腔具有底部并形成为在所述第一表面的一侧上打开，所述空腔的所述底部形成为可以振动；

形成于所述第二表面的一侧上的第一电极层，所述第一电极具有形成于与所述空腔相对应的区域内的主体；

层叠在所述第一电极层上的压电层，所述压电层具有形成于与所述空腔相对应的区域内的主体和从所述主体延伸出并超过与所述空腔的周边相对应的位置的延伸部分；

形成于所述基体的所述第二表面的一侧上的辅助电极层，所述辅助电极层的至少一部分位于所述第二表面和所述压电层的所述延伸部分之间，使其可支撑所述压电层的所述延伸部分；和

层叠在所述压电层上并与所述辅助电极层相连的第二电极层，

其特征在于，在所述第一电极层和所述辅助电极层之间形成有绝缘间隙，以保证在所述第一电极层和所述辅助电极层之间形成绝缘状态，所述绝缘间隙形成为远离与所述空腔的所述周边相对应的所述位置。

2.根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于，所述绝缘间隙整体地位于与所述空腔相对应的区域内。

3.根据权利要求2所述的压电器件，其特征在于，所述辅助电极层具有凸出部分，其从与所述空腔相对应的所述区域的外部向其内部突出并超过与所述空腔的所述周边相对应的所述位置。

4.根据权利要求3所述的压电器件，其特征在于，所述辅助电极层的所述凸出部分具有圆角。

5.根据权利要求3所述的压电器件，其特征在于，所述辅助电极层的所述凸出部分形成为比所述压电层的所述延伸部分更宽。

6.根据权利要求3所述的压电器件，其特征在于，所述辅助电极层的所述凸出部分形成为比所述压电层的所述延伸部分更窄。

7.根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于，所述第一电极层具有从与所述空腔相对应的所述区域的内部向所述辅助电极层延伸并超过与所述空腔的所述周边相对应的所述位置的延伸部分；和

所述绝缘间隙形成于所述第一电极层的所述延伸部分和所述辅助电极层之间，并整体地位于与所述空腔相对应的所述区域之外。

8.根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于，位于与所述空腔相对应的所述区域内的所述第一电极层的一部分、所述第二电极层的一部分和所述辅助电极层的一部分整体地形成几乎对称的形状，其具有通过所述压电层的所述主体的中心的至少一个对称轴。

9.根据权利要求8所述的压电器件，其特征在于，位于与所述空腔相对应的所述区域内的所述压电层的一部分形成几乎对称的形状，其具有所述至少一个对称轴。

10.根据权利要求8所述的压电器件，其特征在于，所述至少一个对称轴包括沿所述压电层的所述延伸部分的延伸方向延伸的第一对称轴和与所述第一对称轴正交的第二对称轴。

11.一种压电器件，包括：

具有设置成彼此相对的第一表面和第二表面的基体，所述基体包括用于容纳将被检测的介质的空腔，所述空腔具有底部并形成为可在所述第一表面的一侧上打开，所述空腔的所述底部形成为可以振动；

形成于所述第二表面的一侧上的第一电极层，所述第一电极具有形成于与所述空腔相对应的区域内的主体；

层叠在所述第一电极层上的压电层，所述压电层具有形成于与所述空腔相对应的所述区域内的主体和从所述主体延伸出并超过与所述空腔的周边相对应的位置的延伸部分；

形成于所述基体的所述第二表面的一侧上的辅助电极层，所述辅助电极层的至少一部分位于所述第二表面和所述压电层的所述延伸部分之间，使其可支撑所述压电层的所述延伸部分；和

层叠在所述压电层上并与所述辅助电极层相连的第二电极层，

其特征在于，位于与所述空腔相对应的所述区域内的所述第一电极层的一部分、所述第二电极层的一部分和所述辅助电极层的一部分整体地形成几乎对称的形状，其具有通过所述压电层的所述主体的中心的至少一个对称轴。

12.根据权利要求11所述的压电器件，其特征在于，位于与所述空腔相对应的所述区域内的所述压电层的一部分形成几乎对称的形状，其具有所述至少一个对称轴。