[发明专利]微小尺寸测量装置有效
| 申请号： | 02127864.4 | 申请日： | 2002-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN1400450A | 公开（公告）日： | 2003-03-05 |
| 发明（设计）人： | 清水高博;小菅正吾 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立国际电气 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G02B21/36;H04N5/225;G06T1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微小 尺寸 测量 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种微小尺寸测量装置，其特征在于具有：
显微镜，其具有放置测量对象物的载物台；
摄像装置，其拍摄由该显微镜放大后的上述测量对象物的放大图像；以及
记录装置，其记录与上述测量对象物相对应的测量条件，
根据该被记录的测量条件，以从上述摄像装置中输出的图像信息为基础，测量上述测量对象物的尺寸，
根据预先记录的上述测量条件，拍摄上述测量对象物，把获得的样品图像信息存储到上述存储装置内，
根据上述被记录的测量条件来测量上述测量对象物时，对上述被记录的样品图像信息进行显示。
2、如权利要求1所述的微小尺寸测量装置，其特征在于：根据上述被记录的测量条件来进行上述测量装置的各种设定，该各种设定中的至少某一种设定内容还可以进一步更改。
3、如权利要求1或2所述的微小尺寸测量装置，其特征在于：把上述样品图像信息和上述测量条件同时记录在上述记录装置内。
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