[发明专利]吸持基体的方法和设备无效
| 申请号： | 02129750.9 | 申请日： | 2002-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN1407591A | 公开（公告）日： | 2003-04-02 |
| 发明（设计）人： | 石田修也 | 申请（专利权）人： | 日新电机株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/265;H01L21/68;B25B11/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李晓舒,魏晓刚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 搜索关键词： | 基体 方法 设备 | ||
【说明书】：
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