[发明专利]一种直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器在审
| 申请号： | 02131185.4 | 申请日： | 2002-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN1490436A | 公开（公告）日： | 2004-04-21 |
| 发明（设计）人： | 屠海令;戴小林;吴志强;周旗钢;张果虎;万关良;王学锋 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/32 | 分类号： | C30B15/32 |
| 代理公司： | 北京元中知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 母宗绪;张庆敏 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 直拉法 生长 单晶硅 籽晶 夹持 | ||
【说明书】：
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