[发明专利]化学放大型正性抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 02132225.2 | 申请日： | 2002-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN1407405A | 公开（公告）日： | 2003-04-02 |
| 发明（设计）人： | 末次益实;山田爱理;上谷保则 | 申请（专利权）人： | 住友化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈长会 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化学 大型 正性抗蚀剂 组合 | ||
【说明书】：
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