[发明专利]一种用于热释电薄膜材料的热释电系数测量装置及方法

权利要求书

1.一种用于热释电薄膜材料热释电系数测量装置，包括：样品台(1)，控制样品台温度的控温电源(2)，测量样品温度的温度传感器(3)，供给温度传感器的恒流源(5)，测量样品的热释电电流的静电计(4)以及锁相放大器6，

其特征在于：

所说的样品台(1)由一导热性能良好的金属块制成，其下面有一个用于控制样品台的平衡点温度的半导体制冷器件(101)和另一个控制样品台的周期性变化温度的半导体制冷器件(102)，二个制冷器件叠加而成，其中制冷器件(102)紧贴金属块下面；

所说的控温电源(2)由直流电源(201)和交流电源(202)两个电源组成，直流电源供给半导体制冷器件(101)；交流电源由低频发生器和功率放大器构成，其核心元件分别为ICL8038CCPD和LM1875T，供给半导体制冷器件(102)，电源电流输出范围为0-2安培，平衡点温度控温精度为0.2℃；

2.根据权利要求1一种用于热释电薄膜材料热释电系数测量装置，其特征在于：所说的温度传感器(3)为标准铂热敏电阻。

3.利用权利要求1一种用于热释电薄膜材料热释电系数测量装置的热释电系数测量方法，其特征在于：包括下列步骤：

a.将样品(7)置在与样品热接触良好的样品台(1)上；

b.打开半导体制冷器的冷却水和各仪器电源，调节控温电源(2)电压，使样品台温度在所需平衡温度点T₀附近做正弦周期变化，调制幅度ΔT视热释电电流大小调节，变化幅度在0.5℃-1℃，调制周期在0.05Hz-0.1Hz；

c.将温度传感器(3)测得的电压信号送锁相放大器(6)，得到信号S_T；

d.将静电计(4)测得的热释电电流信号送锁相放大器(6)，得到

e.将k₁，k₂，样品面积A，温度调制角频率ω，以及和S_T的数值代入公式 p ′ = k 1 S i p Aωk 2 S T ]]>计算，得热释电系数p’。