[发明专利]石英管清洗台的超纯水回收管线系统有效
| 申请号： | 02136967.4 | 申请日： | 2002-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN1482071A | 公开（公告）日： | 2004-03-17 |
| 发明（设计）人： | 陈建华;彭云新;厉晓华 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C02F1/00 | 分类号： | C02F1/00;C02F1/58 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 陈亮 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石英管 清洗 超纯水 回收 管线 系统 | ||
【权利要求书】：
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