[发明专利]一种纳米特性薄膜器件的制备方法无效
| 申请号： | 02137608.5 | 申请日： | 2002-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN1415780A | 公开（公告）日： | 2003-05-07 |
| 发明（设计）人： | 陈良尧;李申初;谌达定;王松有;郑玉祥;张荣君;李晶;朱伟丹;杨月梅 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;G01B11/02;H01P1/20 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 | 代理人： | 陆飞 |
| 地址： | 20043*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 特性 薄膜 器件 制备 方法 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于复旦大学，未经复旦大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/02137608.5/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种铋矿氟硅酸矿浆电解工艺
- 下一篇：商品报价的方法
- 同类专利
- 专利分类
