[发明专利]35Vw和50Vw高比容低接触电阻阳极箔生产工艺无效

专利信息
申请号: 02138023.6 申请日: 2002-07-24
公开(公告)号: CN1391243A 公开(公告)日: 2003-01-15
发明(设计)人: 汪衍;马坤松 申请(专利权)人: 扬州宏远电子有限公司
主分类号: H01G9/055 分类号: H01G9/055;C25F3/04
代理公司: 扬州市锦江专利事务所 代理人: 江平
地址: 225600*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 35 vw 50 比容 接触 电阻 阳极 生产工艺
【权利要求书】:

1、35Vw和50Vw高比容低接触电阻阳板箔生产工艺,主要经光箔退火、前处理、蚀孔引发、交流腐蚀、后处理、热处理、化成、清洗、热处理、复片、清洗、热处理,最后形成成品箔,其特征在于蚀孔引发时采用30~50Hz的正弦波,同时,在交流腐蚀时腐蚀液为以盐酸为主,硝酸、磷酸、草酸为辅,并添加高效缓蚀剂,腐蚀液的温度为30~50℃。

2、根据权利要求1所述工艺,其特征在于交流腐蚀的腐蚀液中,盐酸占腐蚀液重量比10~25%,硝酸、磷酸、草酸各占重量比0.1~10%,高效缓蚀剂为乌洛托品或硫脲,占腐蚀液的重量比为乌洛托品0.1~5%,硫脲为0.01~8%。

3、根据权利要求1或2所述工艺,其特征在于光箔退火温度为400~460℃,保温时间为16~28小时。

4、根据权利要求1或2所述工艺,其特征在于在前处理工艺中,以烷基苯磺酸钠表面活性剂和碱液为表面清洁剂,其中,碱液占5~6%,烷基苯磺酸钠表面活性剂占0.1~2%。

5、根据权利要求1或2所述工艺,其特征在于在后处理工艺中,采用1~10%的硝酸为清洗液。

6、根据权利要求1或2所述工艺,其特征在于化成箔工艺中,采用高效、高纯复合化成液,化成温度为60~90℃。

7、根据权利要求6所述工艺,其特征在于复合化成液为3~20%已二酸铵和0.01~0.1%柠檬酸。

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