[发明专利]界面结合强度的远紫外激光划痕测量方法及装置无效
| 申请号： | 02138512.2 | 申请日： | 2002-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN1405554A | 公开（公告）日： | 2003-03-26 |
| 发明（设计）人： | 张永康;冯爱新;周明;谢华琨;蔡兰 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01N21/33;G01N3/56;G01N19/04 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 | 代理人： | 唐恒 |
| 地址： | 2120*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 界面 结合 强度 紫外 激光 划痕 测量方法 装置 | ||
【权利要求书】：
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