[发明专利]PCVD沉积车床出气端旋转接头装置有效
申请号: | 02139131.9 | 申请日: | 2002-09-30 |
公开(公告)号: | CN1401601A | 公开(公告)日: | 2003-03-12 |
发明(设计)人: | 王淑斌;朱明华;尹红兵;李诗愈 | 申请(专利权)人: | 烽火通信科技股份有限公司 |
主分类号: | C03B37/018 | 分类号: | C03B37/018 |
代理公司: | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 | 代理人: | 胡建平 |
地址: | 430074 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | pcvd 沉积 车床 出气 旋转 接头 装置 | ||
【说明书】:
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