[发明专利]抗激光损伤宽谱带减反膜的制备方法无效

专利信息
申请号: 02140488.7 申请日: 2002-07-19
公开(公告)号: CN1399147A 公开(公告)日: 2003-02-26
发明(设计)人: 孙予罕;章斌;吴东;范文浩;徐耀 申请(专利权)人: 中国科学院山西煤炭化学研究所
主分类号: G02B1/11 分类号: G02B1/11;C03C17/30;B05C3/00
代理公司: 山西五维专利事务所(有限公司) 代理人: 李毅
地址: 030001*** 国省代码: 山西;14
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摘要:
搜索关键词: 激光 损伤 宽谱带减反膜 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种抗激光损伤宽谱带减反膜的制备方法,其特征在于制备包括以下步骤:

(1)镀膜溶胶的制备:以正硅酸乙酯为前驱体,在氨水催化条件下,按比例加入水、无水乙醇、聚乙烯吡咯烷酮和聚乙二醇,混和后充分搅拌进行反应;各物料之间的摩尔比配为:EtOH/TEOS=20~100;H2O/TEOS=1~10;PVP/TEOS=2×10-6~1×10-8;PEG/TEOS=3×10-4~2×10-3;氨水/TEOS=0.02~0.3。

(2)陈化:陈化温度可以在0~70℃之间,老化时间为3~60天;

(3)镀膜:采用旋转镀膜法或提拉法进行一层单面镀膜或双面镀膜。

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