[发明专利]滤色片、液晶显示装置、电致发光基板的制造方法及制造装置

说明书

[发明的详细说明]

[发明所属的技术领域]

本发明涉及滤色片的制造方法及制造装置、液晶显示装置的制造方法及制造装置、电致发光发光层配置基板的制造方法及制造装置、电致发光装置的制造方法及制造装置。另外，本发明涉及利用喷头对基板一边进行扫描，一边将喷出物喷射到该基体材料上的喷头的扫描方法及喷头的扫描装置。另外，本发明涉及在基板上形成膜的成膜方法及成膜装置。另外，本发明涉及电光装置及其制造方法、以及电子装置。

[现有的技术]

近年来，液晶显示装置、电致发光装置等显示装置被广泛地用于移动电话机、便携型计算机等电子装置的显示部中。另外，多半使用这样的显示装置使电子装置的显示部进行全色显示。

例如，通过使由液晶层调制的光通过滤色片，进行液晶显示装置的全色显示。通过将R(红)、G(绿)及B(蓝)色的呈点状的各色滤色元按照条形排列、三角形排列或镶嵌形排列等规定的排列方法，配置在由玻璃、塑料等构成的基板的表面上，形成这样的滤色片。

另外，能通过这样的方法进行电致发光装置的全色显示：例如将R(红)、G(绿)、B(蓝)色的呈点状的各色发光层按照条形排列、三角形排列或镶嵌形排列等规定的排列方法，配置在由玻璃、塑料等构成的基板的表面上，形成电致发光基板，用一对电极夹持该电致发光基板的发光层，形成多个显示点，对每个显示点控制加在这些电极上的电流或电压，使显示点发出所希望颜色的光。

迄今，在对滤色片的R(红)、G(绿)、B(蓝)各色滤色元进行构图的情况下，或者在对电致发光基板的R(红)、G(绿)、B(蓝)色的各发光层进行构图的情况下，能采用光刻法。可是，在该光刻法中，需要对每个显示点使用不同图形的掩模，进行曝光、显影、清洗等繁杂的工序，同时由于消耗大量的各色材料及光致抗蚀剂，所以存在成本增高等问题。

为了解决该问题，提出了采用喷墨法呈点状地喷射滤色材料或发光层形成材料等，形成滤色元或发光层等方法。该喷墨法例如能用备有压电体薄膜元件的喷墨头进行。

在该喷墨法中，将像素形成用的油墨存储在喷墨头的加压室中，利用上述的压电体元件的振动引起的加压室的体积变化，喷射该油墨，因此，在滤色片的基板上形成像素。如果采用该喷墨法，则能提高滤色片等的生产效率。另外，在该喷墨法中由于能控制墨量的高度，所以能有效地制造高精细的滤色片。

在图25及图26中示出了通过采用喷墨法呈点状地喷射滤色材料或发光层形成材料等，形成呈点状排列的滤色元或发光层等的方法之一例。

使用备有将图25(c)所示的多个喷嘴304排列成列状的喷嘴列305的喷墨头306，按照喷墨法，如图25(a)所示，在由玻璃、塑料等构成的大面积的基板(所谓的母板)301的表面上形成的多个面板区域302的内部区域中，如图25(b)所示，形成呈点状排列的多个滤色元303。

在此情况下，如图25(b)所示，例如使喷墨头306沿着箭喷头A1及箭喷头A2所示的方向，对一个面板区域302进行多次主扫描，在图25(b)所示的情况下为两次主扫描，同时在这些主扫描之间有选择地从多个喷嘴304喷墨、例如喷射滤色材料，在所希望的位置形成滤色元303。

这里，通过使R(红)、G(绿)及B(蓝)各色呈条形排列、三角形排列或镶嵌形排列等形态排列，形成滤色元303。因此，用图25(b)所示的喷墨头306形成滤色元303按如下方法进行：对应于R(红)、G(绿)、B(蓝)三种颜色，预先准备三种只喷射R(红)、G(绿)、B(蓝)中的一种颜色的喷墨头306，对应于三种颜色依次反复使用这些喷墨头306，能在一块母板301上形成R(红)、G(绿)、B(蓝)三色排列。

[发明要解决的课题]

可是，在喷墨头306中，一般说来，构成喷嘴列305的多个喷嘴304的喷墨量有离散。例如，如图26(a)所示，喷墨头306往往有下述的喷墨特性Q：对应于喷嘴列305的两端部的位置的喷射量多，其中央部次多，它们的中间部的喷射量少。另外，在图26(a)中示出了喷嘴304的个数为180个的情况。

如果考虑这样的喷墨量的离散，则如图25(b)所示，在由喷墨头306形成了滤色元303的情况下，如图26(b)所示，在与位于喷墨头306的两端部的喷嘴对应的滤色元303的形成区域P1或与位于中央部的喷嘴对应的滤色元303的形成区域P2中，形成浓度大的条纹，存在滤色片的平面光透射特性或反射特性不均匀的问题。另外，根据不同情况，有时在形成区域P1及P2两个区域中形成浓度大的条纹。