[发明专利]发光装置、制造发光装置的方法和电子设备

说明书

发明领域

本发明涉及半导体装置的制备方法，具体地涉及包括在塑料衬底上形成的OLED(有机发光装置)面板的发光装置。本发明还涉及通过把包括控制器的IC安装到OLED面板上得到的OLED模块。本技术说明中，发光装置用作OLED面板和OLED模块的通称。还包括在本发明中的是使用所述发光装置的电子设备。

发明背景

近几年，在衬底上形成TFT(薄膜晶体管)的技术已经取得了巨大的进步以促进TFT在有源矩阵显示器的应用。特别是，使用多晶硅的TFT比使用非晶硅的传统TFT具有更高的场效应迁移率(也称作迁移率)，因而能以更高的速度运转。这使通过在上面形成了像素的同样衬底上形成的驱动电路控制像素成为可能，所述像素传统上用在衬底之外的驱动电路控制。

由于有在同样衬底上形成的各种电路和元件，有源矩阵显示器能具有许多优点，包括制造成本的降低、显示器尺寸的减小、产量的增加、和生产能力的改善。

有OLED作为自发光元件的有源矩阵发光装置(下文中简单地称作发光装置)正被活跃地研究着。发光装置也称作有机EL显示器(OELD)或有机发光二极管(OLED)。

由于是自发光的，OLED不需要在液晶显示器(LCD)中所必须的背光源，因而容易做成较薄的装置。此外，自发光OLED具有高度可见性，并在视角方面没有限制。这些就是为什么使用OLED的发光装置作为显示器以代替CRT和LCD正吸引着注意力的原因。

OLED除了阳极层和阴极层外，具有包含加电场时提供发光(电致发光)的有机化合物(有机发光材料)层(所述层在下文中称作有机发光层)。从有机化合物得到的发光分成依靠从单重激发态回到基态的发光(荧光)和依靠从三重激发态回到基态的发光(磷光)。根据本发明的发光装置能使用其中一种或两种发光。

本技术说明中，在阳极和阴极之间提供的所有层制成有机发光层。具体地，有机发光层包括发光层、空穴注入层和电子注入层、空穴输运层、电子输运层等。OLED的基本结构是阳极、发光层和阴极按顺序分层的叠层。基本结构可以改进成阳极、空穴注入层、发光层和阴极按顺序分层的叠层，阳极、空穴注入层、发光层、电子输运层和阴极按顺序分层的叠层等。

期望这类发光装置的各种应用。特别是，在便携式设备中的应用正吸引着注意力，这是因为发光装置很薄并因而在减轻重量上是有用的。这已经促进了在柔性塑料膜上形成OLED的尝试。

其中在诸如塑料膜的柔性衬底上形成OLED的发光装置很薄并且重量轻，而且，适用于弯曲的显示器或橱窗等。因而，其用途不限于便携式设备，其应用范围非常广泛。

然而，塑料衬底通常对湿气和氧有很好的透过性，这加速有机发光层的退化。因而塑料衬底经常缩短发光装置的寿命。这在现有的技术中通过把诸如氮化硅膜或氮氧化硅膜的绝缘膜放在塑料衬底和OLED之间以防止湿气和氧进入有机发光层来解决。

塑料膜衬底通常也不耐热，如果诸如氮化硅膜或氮氧化硅膜的绝缘膜在太高的温度形成，则衬底很容易变形。另一方面，如果绝缘膜形成的温度太低，膜的质量降低且膜不能令人满意地防止湿气和氧的透过。

当诸如氮化硅膜或氮氧化硅膜的绝缘膜在厚度上增加以防止湿气和氧的透过时，内应力增加，从而容易引起裂纹(裂缝)。衬底弯曲时厚绝缘膜使衬底不耐裂化。

发明简述

根据上述得到了本发明，且本发明的目的因而是提供具有在塑料衬底上形成的OLED的发光装置，其能够避免由湿气和氧的透过引起的退化。

本发明涉及密封在具有绝缘表面的衬底上形成的OLED的技术。根据本发明，OLED利用沿着内部绝缘膜的层排列的塑料膜通过真空密封来密封。绝缘膜的层包括至少由无机材料制成的绝缘膜，其能够防止氧和湿气的透过(下文中称作无机绝缘膜)，和有机材料制成并且在内应力上比无机绝缘膜小的绝缘膜。

具体地，形成两层或多层无机绝缘膜，且包含树脂的有机绝缘膜放在无机绝缘膜之间。沿着内部三层或多层绝缘膜排列的袋状(bag-like)塑料膜用于安放上面形成了OLED的衬底，以便于密封OLED并完成发光装置。

为了增加具有无机绝缘膜的塑料膜的柔软度，通过将稀有气体元素加入到用于形成无机绝缘膜的反应气体中，无机绝缘膜的内应力可以被释放。

本发明采用多层无机绝缘膜。因而，如果一层无机绝缘膜破裂，另一层无机绝缘膜有效地防止湿气和氧进入有机发光层。用多层无机绝缘膜，即使在无机绝缘膜的形成过程中多层无机绝缘膜由于低温退化时，本发明也能有效地防止湿气和氧进入有机发光层。