[发明专利]模块化的喷射器和排放装置

权利要求书

1.一种用于输送气体到基片上的喷射器装置，包括：

至少两个彼此相邻并间隔设置以在其间形成至少一个排放通道的喷射器；和

一个用于固定至少两个喷射器的安装板，其特征在于至少两个喷射器中的每一个可单独安装到安装板上或可从安装板上单独拆下的，且安装板设有与至少一个排放通道流通的至少一个排放槽。

2.如权利要求1所述的喷射器装置，其特征在于所述喷射器具有相同型式。

3.如权利要求1所述的喷射器装置，其特征在于所述喷射器具有不同型式。

4.如权利要求1所述的喷射器装置，其特征在于所述喷射器还包括：

一个具有端表面和细长的外部气体输送表面的单一细长件，所述气体输送表面沿着直接与基片相对的细长件的长度方向延伸；

形成在所述细长件内和在端表面之间延伸用于接收气体的至少一个细长通道；和

形成在所述单个细长件内且在所述细长通道和气体输送表面之间延伸用于沿着气体输送表面输送气体的至少一个窄的、细长的分布槽。

5.如权利要求5所述的喷射器装置，其特征在于所述气体输送表面包括一个中心凹槽区域。

6.如权利要求1所述的喷射器装置，其特征在于所述至少一个排放槽沿着安装板的基本长度方向延伸且与至少一个排放通道对齐。

7.如权利要求1所述的喷射器装置，还包括一个固定到所述安装板用于从所述喷射器排放气体的排放装置。

8.如权利要求7所述的喷射器装置，其特征在于排放装置包括：

一个固定到所述安装板的下排放板，所述下排放板带有与安装板上的所述至少一个排放槽流体连通的至少一个排放通道；和

固定到所述下排放板的一个上排放板，所述上排放板设有与下排放板上的所述至少一个排放通道流体连通的至少一个排放口。

9.如权利要求8所述的喷射器装置，其特征在于所述的下排放板上的至少一个排放通道沿着下排放板的基本长度方向延伸并与安装板上的至少一个排放槽对齐。

10.如权利要求9所述的喷射器装置，其特征在于所述的下排放板上的所述至少一个排放通道沿着下排放板的高度方向呈锥形。

11.如权利要求10所述的喷射器装置，其特征在于下排放板上的至少一个排放通道在下排放板的顶表面上较宽，在下排放板的底表面上较窄。

12.如权利要求8所述的喷射器装置，其特征在于所述至少一个排放口包括沿着上排放板的基本长度方向延伸的底端上的一个细长孔，所述细长孔向里呈锥形且终止在上排放板的顶表面上的至少一个出口。

13.如权利要求12所述的喷射器装置，其特征在于所述细长孔终止在上排放板的顶表面上的许多出口。

14.如权利要求12所述的喷射器装置，其特征在于所述细长孔终止在上排放板的顶表面上的两个出口。

15.如权利要求7所述的喷射器装置，其特征在于所述至少两个喷射器包括：

彼此相邻且间隔设置以在它们之间形成第一排放通道的一个或多个内喷射器；

与一个或多个内喷射器相邻和在其外侧且间隔设置以在其间形成第二排放通道的一个或多个端部喷射器；而且

所述排放装置还包括：

与所述第一排放通道流体连通的一个内部排放管装置；和

与所述第二排放通道流体连通的一个外部排放管装置。

16.如权利要求15所述的喷射器装置，其特征在于在所述一个或多个端部喷射器和一个或多个内部喷射器之间提供气密密封。

17.如权利要求15所述的喷射器装置，其特征在于所述内部排放管装置包括：

其中设有许多通道的一个板；

连接到许多通道的每一个的许多管；和

具有许多对应于每一管的入口和一个单一出口的一个平衡单元。

18.如权利要求17所述的喷射器装置，其特征在于所述平衡单元还带有连接所述许多入口和单个出口的许多通道。