[发明专利]光学元件的检查装置和光学元件的检查方法有效
| 申请号： | 02142775.5 | 申请日： | 2002-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN1405601A | 公开（公告）日： | 2003-03-26 |
| 发明（设计）人： | 北林雅志;高户雄二 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02B27/62 | 分类号： | G02B27/62;G02B27/18;G03B21/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 段承恩,李峥 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学 元件 检查 装置 方法 | ||
【说明书】：
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