[发明专利]液体处理装置和液体处理方法有效
| 申请号： | 02142802.6 | 申请日： | 2002-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN1407378A | 公开（公告）日： | 2003-04-02 |
| 发明（设计）人： | 佐田彻也;宫崎一仁 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333;G03F7/16;H01L21/027;D05B1/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王岳,王忠忠 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 液体 处理 装置 方法 | ||
【权利要求书】：
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