[发明专利]生产光敏抗蚀剂组合物的方法及用该组合物生产半导体元件的方法无效
| 申请号： | 02142837.9 | 申请日： | 1996-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN1432870A | 公开（公告）日： | 2003-07-30 |
| 发明（设计）人： | M·D·拉曼;D·P·奥宾;D·N·克哈纳;S·S·迪克希特 | 申请（专利权）人： | 克拉里安特国际有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;C08G8/04 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 黄淑辉 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 生产 光敏 抗蚀剂 组合 方法 半导体 元件 | ||
【权利要求书】：
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