[发明专利]倾斜下电极结构的扭臂式静电驱动光开关及其制作方法无效
| 申请号： | 02144511.7 | 申请日： | 2002-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN1405593A | 公开（公告）日： | 2003-03-26 |
| 发明（设计）人： | 董玮;陈维友;刘彩霞;张歆东;孙东明;贾翠萍;潘建旋;徐宝琨 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G02B6/35 | 分类号： | G02B6/35;G03F7/00 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 张景林,张凯军 |
| 地址： | 130023 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 倾斜 电极 结构 扭臂式 静电 驱动 开关 及其 制作方法 | ||
【权利要求书】：
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