[发明专利]电镀测试器的阴极卡盘有效
| 申请号： | 02146737.4 | 申请日： | 2002-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN1451788A | 公开（公告）日： | 2003-10-29 |
| 发明（设计）人： | 山本渡 | 申请（专利权）人： | 株式会社山本镀金试验器 |
| 主分类号： | C25D17/06 | 分类号： | C25D17/06;C25D17/08;H01L21/288 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电镀 测试 阴极 卡盘 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社山本镀金试验器，未经株式会社山本镀金试验器许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/02146737.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：含有丁硫克百威与吡虫啉的杀虫组合物
- 下一篇：用于控制至少一个阀的方法和装置
