[发明专利]横向磊晶形成磊晶层的方法无效
申请号: | 02148961.0 | 申请日: | 2002-11-14 |
公开(公告)号: | CN1501517A | 公开(公告)日: | 2004-06-02 |
发明(设计)人: | 寺嶋一高;章烱煜;赖穆人 | 申请(专利权)人: | 威凯科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01S5/00 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 刘朝华 |
地址: | 台湾省新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 横向 晶形 成磊晶层 方法 | ||
【权利要求书】:
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