[发明专利]制备氮化镓单晶薄膜的方法无效
| 申请号： | 02149351.0 | 申请日： | 2002-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN1500919A | 公开（公告）日： | 2004-06-02 |
| 发明（设计）人： | 陈弘;韩英军;周均铭;于洪波;黄绮 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B29/38 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王凤华 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 氮化 镓单晶 薄膜 方法 | ||
【说明书】：
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