[发明专利]生产系统和生产方法无效
| 申请号： | 02152909.4 | 申请日： | 2002-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN1412709A | 公开（公告）日： | 2003-04-23 |
| 发明（设计）人： | 山崎舜平 | 申请（专利权）人： | 株式会社半导体能源研究所 |
| 主分类号： | G06F17/60 | 分类号： | G06F17/60 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 梁永 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 搜索关键词： | 生产 系统 方法 | ||
【说明书】：
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