[发明专利]恒定光源步进扫描实现大面积光刻方法及其光刻装置无效
| 申请号： | 02153269.9 | 申请日： | 2002-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN1503063A | 公开（公告）日： | 2004-06-09 |
| 发明（设计）人： | 赵立新;胡松;王肇志;陈兴俊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/22 | 分类号： | G03F7/22;G02B26/10;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 刘秀娟 |
| 地址： | 610209*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 恒定 光源 步进 扫描 实现 大面积 光刻 方法 及其 装置 | ||
【权利要求书】：
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