[发明专利]应用于光学补偿膜曝光的制程及其装置无效
| 申请号： | 02154329.1 | 申请日： | 2002-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN1504811A | 公开（公告）日： | 2004-06-16 |
| 发明（设计）人： | 吴龙海 | 申请（专利权）人： | 力特光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13363 | 分类号： | G02F1/13363;B32B27/00;C08J7/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 任永武 |
| 地址： | 台湾省桃园县*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 应用于 光学 补偿 曝光 及其 装置 | ||
【说明书】：
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