[发明专利]生产装置的故障诊断方法和故障诊断系统无效
| 申请号： | 02154759.9 | 申请日： | 2002-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN1416076A | 公开（公告）日： | 2003-05-07 |
| 发明（设计）人： | 中尾隆;牛久幸广;佐俣秀一;赤堀浩史;石井贤 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | G06F17/00 | 分类号： | G06F17/00;G06F17/60;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 杜日新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 生产 装置 故障诊断 方法 系统 | ||
【说明书】：
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