[发明专利]防止洁净室静电放电的方法有效
| 申请号： | 02156597.X | 申请日： | 2002-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN1452446A | 公开（公告）日： | 2003-10-29 |
| 发明（设计）人： | 张光晔 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H05F3/00 | 分类号： | H05F3/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈红 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 搜索关键词： | 防止 洁净室 静电 放电 方法 | ||
【说明书】：
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