[发明专利]多晶硅界定阶跃恢复器件有效
| 申请号： | 02157198.8 | 申请日： | 2002-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN1427477A | 公开（公告）日： | 2003-07-02 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·A·阿什顿;耶虎达·斯穆哈 | 申请（专利权）人： | 艾格瑞系统有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/60 | 分类号： | H01L23/60 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 界定 阶跃 恢复 器件 | ||
【权利要求书】：
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