[发明专利]一种用于砷化镓单晶生长光学测径的方法无效
| 申请号： | 02157934.2 | 申请日： | 2002-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN1510177A | 公开（公告）日： | 2004-07-07 |
| 发明（设计）人： | 屠海令;张峰燚;石瑛;郑杰;周新民;朱力;马庆祥;王钺 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院 |
| 主分类号： | C30B15/26 | 分类号： | C30B15/26 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 胡福恒 |
| 地址： | 100088北京市新街口*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 砷化镓单晶 生长 光学 方法 | ||
【权利要求书】：
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