[发明专利]单晶炉三维热场分布全自动测试系统及其测试方法有效
| 申请号： | 02157935.0 | 申请日： | 2002-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN1510176A | 公开（公告）日： | 2004-07-07 |
| 发明（设计）人： | 屠海令;张峰燚;石瑛;郑杰;周新民;朱力;马庆祥;王钺 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 胡福恒 |
| 地址： | 100088北京市新街口*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 搜索关键词： | 单晶炉 三维 分布 全自动 测试 系统 及其 方法 | ||
【说明书】：
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