[发明专利]一种溅射纳米多层膜各膜层模板的套准装置及方法无效
| 申请号： | 02158560.1 | 申请日： | 2002-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN1487114A | 公开（公告）日： | 2004-04-07 |
| 发明（设计）人： | 由臣;赵燕平;陈民芳;孙永昌;刘技文;王志奇 | 申请（专利权）人： | 天津理工学院 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/34 |
| 代理公司： | 天津德赛律师事务所 | 代理人： | 卢枫 |
| 地址： | 300191天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 纳米 多层 膜各膜层 模板 装置 方法 | ||
【说明书】：
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