[发明专利]检测二氧化碳的半导体传感器气敏元件的制造方法无效
| 申请号： | 02160100.3 | 申请日： | 2002-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN1424778A | 公开（公告）日： | 2003-06-18 |
| 发明（设计）人： | 焦正;吴明红;顾建中;俎建华 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | H01L49/00 | 分类号： | H01L49/00;G01N27/12 |
| 代理公司： | 上海上大专利事务所 | 代理人： | 王正 |
| 地址： | 20007*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 检测 二氧化碳 半导体 传感器 元件 制造 方法 | ||
【说明书】：
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