[发明专利]用于隔离多孔低K介电薄膜的结构和方法无效
| 申请号： | 02160418.5 | 申请日： | 2002-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN1430274A | 公开（公告）日： | 2003-07-16 |
| 发明（设计）人： | 科特·G·斯坦纳;苏珊·维特卡瓦格;斯蒂夫·莱特尔;杰拉尔德·吉伯森;斯科特·詹森 | 申请（专利权）人： | 艾格瑞系统有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/532 | 分类号： | H01L23/532;H01L21/31;H01L21/768 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 隔离 多孔 薄膜 结构 方法 | ||
【权利要求书】：
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