[发明专利]用于金属的化学机械抛光浆液及利用该浆液制备半导体装置的金属线接触插头的方法无效
| 申请号： | 02160886.5 | 申请日： | 2002-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN1429873A | 公开（公告）日： | 2003-07-16 |
| 发明（设计）人： | 安基彻;权判起;郑钟九;李相益 | 申请（专利权）人： | 海力士半导体有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/00 | 分类号： | C09G1/00;H01L21/321;H01L21/304;H01L21/28;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 封新琴,巫肖南 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 金属 化学 机械抛光 浆液 利用 制备 半导体 装置 金属线 接触 插头 方法 | ||
【说明书】：
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