[实用新型]连续电镀槽的结构无效
申请号: | 02208131.3 | 申请日: | 2002-03-22 |
公开(公告)号: | CN2532088Y | 公开(公告)日: | 2003-01-22 |
发明(设计)人: | 叶楚融 | 申请(专利权)人: | 亚硕企业股份有限公司 |
主分类号: | C25D17/02 | 分类号: | C25D17/02 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 陈肖梅,文琦 |
地址: | 台湾省桃园县平镇*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 连续 电镀 结构 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种连续电镀槽的结构,尤指一种施行一次铜电镀作业的垂直连续电镀槽结构设计,其利用若干夹层板于电镀槽内形成通道,在生产板以垂直夹送行进通道时,使电镀液得以激喷至生产板上,使生产板可获良好匀称的电镀效果的电镀槽结构设计。
背景技术
一次铜电镀于电路板制程中所扮演的功能,乃在于将基板经过钻孔、除胶渣化学铜的步骤后基板施行电镀作业,以使各钻孔的内缘镀上一导电层而得以与基板的面铜相互导通,且有增进面铜厚度的功效。
然而,现有一次铜电镀作业所采用的方式,是将生产板各置于不同的电镀槽予以沉浸作电镀反应,但是,此种电镀方式,使生产板的电镀效果较不理想,因生产板于各个电镀槽中所处的位置(亦即与阳极板的作用距离)皆不同,所以,生产板表面的电镀层则会有不匀称的现象产生(离阳极板作用距离愈近,其电镀层愈厚,反之,离阳极板作用距离愈远者,其电镀层则愈薄)。
发明内容
本实用新型的主要目的,在于提供一种连续电镀槽的结构设计,其利用夹送装置以自动化的流程,而将生产板采用直立的方式导送至电镀槽的通道内,配合通道内所激喷的电镀液使生产板表面获得最大且均匀的喷洒压力,使生产板于电镀槽中可获得品质极佳的均匀电镀层,使整个电镀流程可有效率地完成,而节省电镀反应时间。
本实用新型的次要目的,在于提供一种连续电镀槽的结构设计,该电镀槽的通道以采用直立竖设的方式且呈相对应状的数夹层板所构成,令两侧夹层板的内板面上均匀布设有若干的通孔,且内板面的外侧面上则横向设有数道的隔肋,令电镀液由管路导通至夹层板内部,如此,当生产板采用垂直悬吊的方式夹送进入该通道时,则令电镀液经由夹层板内部自通孔向外激喷至生产板上,使生产板面上可快速获得良好匀称的电镀效果。
本实用新型的另一目的,在于提供一种连续电镀槽的结构设计,该夹送装置横设于电镀槽的上端,而其所具有的若干夹具则连结设于一呈水平方向设置的回转轨道上,令各夹具回转至电镀槽的前后区段时,由轨道两侧所设置的滚轮触压至夹具的触压板上,令各夹具下方原本呈闭合状态的夹头开启,使夹具回转至此控制区段时,即可自动使夹头产生开启状态以取放生产板,待夹具回转出此一控制区段时,夹头即受一压缩弹簧的作用而回复至原闭合状态。
附图说明
图1为本实用新型所述连续电镀槽的平面结构示意图;
图2为本实用新型连续电镀槽的侧向结构示意图;
图3为夹层板组设于电镀槽中的组合剖面示意图;
图4为夹层板并组后的平面结构示意图;
图5为夹层板并组后的正面结构示意图;
图6为夹送装置中夹具与滚轮的相对配合状态示意图;
图7为图6A-A处的剖面示意图;
图8为图6B-B处的剖面示意图。图号说明
1 电镀槽 2 夹层板
21 通孔 22 隔肋
23 导管 3 夹送装置
31 夹具 311 触压板
312 夹头 313 压缩弹簧
32 轨道 321 滚轮
4 生产板 5 不可溶阳极板
具体实施方式
如图1及图2所示,一种连续电镀槽的结构设计,特别适用于一次铜电镀作业的连续电镀槽结构设计,其主要是于该电镀槽1的两侧设置有数个夹层板2,而电镀槽1的顶端则横向设有一回转的夹送装置3,其中:
夹层板2,如图3至图5所示,其是一呈中空状的板体,令该夹层板2于其内侧的板面上均匀布设有若干的通孔21,而于该侧板面的外壁上则横向设有数道的隔肋22,又于夹层板2的底部接设有一导管23;
夹送装置3,如图6至图8所示,其横设于电镀槽1的上端(请另行参阅图2所示),夹送装置3上具有若干的夹具31,且使各夹具31连结设于一呈水平方向设置的回转轨道32上,于夹具31的一侧边设有触压板311,而其底端则设有夹头312,且令触压板311的内侧装设有压缩弹簧313,又于电镀槽1前后区段的轨道32两则设置有滚轮321;
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