[实用新型]法兰结构的硅压阻式压力传感器无效
申请号: | 02220468.7 | 申请日: | 2002-05-10 |
公开(公告)号: | CN2539161Y | 公开(公告)日: | 2003-03-05 |
发明(设计)人: | 赵建立;黄标;佘德群;高峰;李维平 | 申请(专利权)人: | 赵建立;黄标;佘德群;高峰;李维平 |
主分类号: | G01L9/06 | 分类号: | G01L9/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 210028 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 法兰 结构 硅压阻式 压力传感器 | ||
1、法兰结构的硅压阻式压力传感器,其特征是由法兰主体(1)、盖环(2)、硅芯片(3)、膜片(4)、硅油(5)、金丝(6)、瓷环(7)、玻璃绝缘子(8)、引脚(9)、“O”型密封圈(10)组成,其中法兰主体(1)、盖环(2)、膜片(4)通过焊接连在一起,法兰主体(1)上有安装定位孔,引脚(9)和法兰主体(1)通过玻璃绝缘子(8)连结在一起,瓷环(7)安装在引脚(9)上,硅芯片(3)粘贴在法兰主体(1)的中心部位,并通过金丝(6)和引脚(9)接在一起,法兰主体(1)的内部充满硅油(5)。
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