[实用新型]一种多功能的等离子体和激光束联合处理材料的装置无效
| 申请号： | 02264887.9 | 申请日： | 2002-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN2550376Y | 公开（公告）日： | 2003-05-14 |
| 发明（设计）人： | 吴嘉达;李富铭;钟晓霞 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 | 代理人： | 姚静芳 |
| 地址： | 20043*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多功能 等离子体 激光束 联合 处理 材料 装置 | ||
【说明书】：
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