[实用新型]管筒状工件内壁等离子体注入装置无效
| 申请号： | 02275573.X | 申请日： | 2002-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN2577437Y | 公开（公告）日： | 2003-10-01 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;C23C8/36;C23C14/48 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 | 代理人： | 岳泉清 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 管筒状 工件 内壁 等离子体 注入 装置 | ||
【权利要求书】：
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