[发明专利]溅射设备无效
| 申请号： | 02800199.0 | 申请日： | 2002-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN1455826A | 公开（公告）日： | 2003-11-12 |
| 发明（设计）人： | 迫博明 | 申请（专利权）人： | 日本板硝子株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35;C23C14/44 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蔡洪贵 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射 设备 | ||
【说明书】：
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