[发明专利]获得整体单晶性含镓氮化物的方法及装置有效
申请号: | 02802023.5 | 申请日: | 2002-05-17 |
公开(公告)号: | CN1526037A | 公开(公告)日: | 2004-09-01 |
发明(设计)人: | 罗伯特·托马什·德威林斯基;罗曼·马雷克·多拉辛斯基;莱哲克·彼得·西芝普陶斯基;哲兹·卡兹尼斯基;神原康雄 | 申请(专利权)人: | 波兰商艾蒙诺公司;日亚化学工业株式会社 |
主分类号: | C30B9/00 | 分类号: | C30B9/00;C30B7/00;C30B29/40 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 柳春琦 |
地址: | 波兰*** | 国省代码: | 波兰;PL |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 获得 整体 单晶性含镓 氮化物 方法 装置 | ||
【权利要求书】:
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