[发明专利]减少氟化物中的氧组分和碳组分的方法无效

专利信息
申请号: 02804711.7 申请日: 2002-02-07
公开(公告)号: CN1491300A 公开(公告)日: 2004-04-21
发明(设计)人: 菊山裕久;矢崎洋史;里永知彦 申请(专利权)人: 斯特拉化学株式会社
主分类号: C30B29/12 分类号: C30B29/12
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 于辉
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 减少 氟化物 中的 组分 方法
【权利要求书】:
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