[发明专利]脆性材料基片的倒角方法以及倒角装置无效
申请号: | 02804763.X | 申请日: | 2002-08-09 |
公开(公告)号: | CN1491144A | 公开(公告)日: | 2004-04-21 |
发明(设计)人: | 若山治雄 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业股份有限公司 |
主分类号: | B23K26/36 | 分类号: | B23K26/36;C03B29/08;H01L21/304;//B23K101:40 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 温大鹏;杨松龄 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 脆性 材料 倒角 方法 以及 装置 | ||
【权利要求书】:
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