[发明专利]缺陷密度与尺寸分布的提取方法无效
| 申请号： | 02806431.3 | 申请日： | 2002-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN1496526A | 公开（公告）日： | 2004-05-12 |
| 发明（设计）人： | 克里斯托弗·赫斯;大卫·斯塔绍尔;布林·E·斯泰恩;拉尔格·H·魏兰德;理查德·布尔克;丹尼斯·J·契普利奇卡斯 | 申请（专利权）人： | PDF技术公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 陆弋;钟强 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 缺陷 密度 尺寸 分布 提取 方法 | ||
【权利要求书】：
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