[发明专利]用于拉晶机的热屏蔽组件无效
| 申请号： | 02807022.4 | 申请日： | 2002-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN1608147A | 公开（公告）日： | 2005-04-20 |
| 发明（设计）人： | L·W·费里;R·A·施伦克尔;M·巴南 | 申请（专利权）人： | MEMC电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 马江立;吴鹏 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 拉晶机 屏蔽 组件 | ||
【权利要求书】：
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